國家層面：

2008年環(huán)保部印發(fā)《電子工業(yè)污染物排放標準 半導體器件》（征求意見稿）。規(guī)定VOCs的限值現(xiàn)有企業(yè)為80mg/m³，新建企業(yè)為60mg/m³。

2008年環(huán)保部印發(fā)《電子工業(yè)污染物排放標準 電子元件》（征求意見稿）。規(guī)定VOCs的限值現(xiàn)有企業(yè)為80mg/m³，新建企業(yè)為50mg/m³。

2008年環(huán)保部印發(fā)《電子工業(yè)污染物排放標準 電子終端產(chǎn)品》（征求意見稿）。規(guī)定VOCs的限值現(xiàn)有企業(yè)為70mg/m³，新建企業(yè)為50mg/m³。

2008年環(huán)保部印發(fā)《電子工業(yè)污染物排放標準平板顯示器、電真空及光電子器件》（征求意見稿）。規(guī)定VOCs的限值現(xiàn)有企業(yè)為100mg/m³，新建企業(yè)為80mg/m³。

2015年環(huán)保部印發(fā)《電子工業(yè)污染物排放標準》（征求意見稿）規(guī)定非甲烷總烴最高允許排放濃度為100mg/m³，特別排放限值是80mg/m³，沒有涉及TVOCs。

2018年環(huán)保部印發(fā)《電子工業(yè)污染物排放標準》（二次征求意見稿）規(guī)定非甲烷總烴最高允許排放濃度為100mg/m³，TVOCs是150mg/m³。特排限值分別為50、100。

地方層面：

北京市《大氣污染物綜合排放標準》（DB11/501-2007）中規(guī)定半導體及電子產(chǎn)品制造VOCs的限值現(xiàn)有企業(yè)為50mg/m³，新建企業(yè)為20mg/m³。

天津市《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機化合物排放控制標準》（DB12/524-2014）。規(guī)定電子工業(yè)VOCs最高允許排放濃度為80mg/m³。

上海市《半導體行業(yè)污染物排放標準》（DB31/374-2006）。規(guī)定VOCs最高允許排放濃度為100mg/m³。

2017年廣東省《電子工業(yè)揮發(fā)性有機物排放標準》（征求意見稿）。規(guī)定VOCs最高允許排放濃度為30mg/m³。

2017年廣東省《電子設備制造業(yè)揮發(fā)性有機化合物排放標準》（征求意見稿）。規(guī)定VOCs最高允許排放濃度為40mg/m³。

2018年江蘇省《半導體行業(yè)污染物排放標準》（征求意見稿）。規(guī)定非甲烷總烴最高允許排放濃度為60mg/m³。

2018年北京市《電子工業(yè)大氣污染物排放標準》（征求意見稿）。規(guī)定非甲烷總烴最高允許排放濃度為20mg/m³，TVOCs是40mg/m³。